日本Amenity公司的氣流可視化設(shè)備AVIS基于霧示蹤法，在潔凈室環(huán)境中具有以下顯著優(yōu)勢：
1. 無污染且兼容潔凈環(huán)境
超純水霧化：采用超純水作為示蹤劑，無毒、無化學(xué)污染，符合潔凈室對材料純凈度的嚴苛要求，避免引入外來污染物。
顆粒尺寸可控：生成的0.5μm霧氣顆粒是潔凈室標準粒徑，既能穩(wěn)定懸浮跟隨氣流，又不會因過大顆粒沉降造成設(shè)備或產(chǎn)品污染。
2. 高精度氣流追蹤
真實反映氣流動態(tài)：0.5μm顆粒具有極低的慣性，能精準跟隨氣流運動(包括低速氣流)，避免示蹤劑自身干擾測量結(jié)果，確保可視化數(shù)據(jù)真實可靠。
微小擾動優(yōu)化：設(shè)備通過調(diào)節(jié)風(fēng)量和振蕩頻率，最小化霧氣噴射對原有氣流的影響，尤其適合對氣流穩(wěn)定性要求高的潔凈室環(huán)境。
3. 直觀感染風(fēng)險分析
病原體傳播路徑模擬：霧氣顆粒的運動可直觀顯示氣流攜帶污染物的擴散路徑，幫助識別交叉污染風(fēng)險點(如手術(shù)室飛沫傳播、制藥車間微粒擴散)。
死角與湍流檢測：通過可視化氣流停滯區(qū)或異常渦流，優(yōu)化潔凈室換氣次數(shù)(ACH)及高效過濾器(HEPA)布局，提升單向流(層流)效果。
4. 實時動態(tài)評估與驗證
無需復(fù)雜設(shè)備介入：直接目視或結(jié)合攝像記錄即可評估氣流組織，無需暫停潔凈室運行，適合動態(tài)驗證壓差梯度或設(shè)備啟停時的氣流變化。
兼容驗證標準：支持ISO 14644-3等潔凈室檢測標準中對氣流流型測試的要求，輔助驗證單向流、非單向流性能。
5. 操作靈活與安全性
參數(shù)可調(diào)適配場景：通過調(diào)整霧量、顆粒大小(如降低頻率增大顆粒以觀察高速氣流)，適應(yīng)不同潔凈等級(ISO 5級至8級)的檢測需求。
無安全隱患：超純水霧氣無導(dǎo)電性或腐蝕性，可在電子類潔凈室等敏感區(qū)域安全使用，區(qū)別于油基或固體顆粒示蹤劑。
應(yīng)用場景示例
手術(shù)室：可視化麻醉氣體泄漏路徑，優(yōu)化排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計。
半導(dǎo)體車間：檢測光刻機周邊氣流擾動，防止微粒沉積晶圓。
生物安全實驗室：驗證負壓環(huán)境下危險氣溶膠的 containment 效果。
綜上，AVIS設(shè)備通過無害化、高精度且直觀的可視化方案，成為潔凈室氣流優(yōu)化、感染控制及合規(guī)驗證的高效工具。
